화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 NiCl2 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화
안경민, 이승렬, 안병태
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
4 다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구
이승렬, 안경민, 안병태
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
3 MOCVD법과 RPALD법을 이용한 금속유도결정화법에 관한 연구
김명식, 홍진원, 배규식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
2 Remote Plasma ALD법을 이용한 코발트 금속유도 결정화법에 관한 연구
홍진원, 김명식, 이근우, 배규식
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
1 니켈 금속유도 결정화법으로 형성한 다결정 실리콘 박막의 물성및 미세구조 변화
홍진원, 배규식
한국재료학회 2006년 봄 학술대회