| 번호 | 제목 |
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건식 플라즈마 디스미어 공정 개발 송신애, 김기영, 임성남, 우주영 한국고분자학회 2022년 봄 학술대회 |
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SiO2 contact hole etching using heptafluoropropyl methyl ether/pentafluoropropanol/O2/Ar plasmas 유상현, 김창구 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 50 |
나노카본 구조체 기반 320whkg, 효율 85%(1,000회)급 장수명 이차전지 개발 공태웅 한국공업화학회 2022년 봄 학술대회 |
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Flexible GaN nanorod LED with thick p-ohmic contact metal 조영훈, 김태환, 박소연, 이인환 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
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Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO2 식각 유상현, 김창구 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 47 |
3D NAND 고종횡비 구조에서의 습윤성 거동에 대한 연구 조윤종, 박진구, 김현태, 이찬희, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
| 45 |
Dry cleaning of silicon oxide using OF2/NH3 remote plasma 김주은, 이원오, 김두산, 박진우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
| 44 |
Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 43 |
전기적 특성 평가를 통한 Nano-Trench Patterned Si Wafer의 건식 세정 효과 분석 채명균, 최창환 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
