화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 실리콘웨이퍼의 습식식각 시 표면거칠기에 따른 전기비저항 변화
강동수, 이상민, 김준우, 이상현, 고성우, 노재승
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
5 Si-wafer의 wet etching 시 Etchant 조성 변화에 따른 물리적, 전기적 특성 변화
김준우, 이현용, 강동수, 이상현, 고성우, 노재승
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
4 Si-wafer wet etching 시 etching time, etching temperature, 불산 및 질산 농도가 etching rate에 미치는 영향
김준우, 김범준, 이현용, 정지훈, 이윤관, 이상민, 이상현, 고성우, 노재승
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
3 Si-wafer의 wet etching시 표면특성변화에 미치는 etching 속도의 영향
김준우, 서승국, 김범준, 이현용, 이윤관, 이상현, 고성우, 노재승
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
2 Si wafer의 wet etching 시 etching속도에 미치는 온도 영향
이현용, 서승국, 노재승, 고성우
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
1 화학적 etching에 의한 Si wafer의 slim화에 따른 표면특성 변화
김범준, 노재승, 서승국, 고성우
한국재료학회 2011년 가을 학술대회