번호 | 제목 |
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7 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각 민수련, 이장우, 조한나, 정지원 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
6 |
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성 민수련, 정지원, 이장우, 조한나 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
5 |
고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성 이장우, 박익현, 정지원 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
4 |
Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
3 |
E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각 박익현, 이장우, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
2 |
고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각 민수련, 정지원, 이장우, 박익현 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
1 |
유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |