| 번호 | 제목 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT 윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA 박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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Boron Nitride의 유기금속 화학증착에서의 반응속도론|Kinetics of Metal Organic Chemical Vapor Deposition of Boron Nitride 이상열*, 이중기, 남영우*, 박달근|Sang-Yeol Lee*, Joong-Kee Lee, Young-Woo Nam*, Dalkeun Park 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
