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Effects of Surfactant Molecular weight and Concentration in Nano-Ceria Slurry on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing
Hyuk-Yul CHOI, Hyun-Goo KANG, Jun-Seok KIM, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Effects of Non-Prestonian Behavior of Ceria Slurry with Anionic Surfactant on Abrasive Concentration and Size in Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Hyuk-Yul CHOI, Hyun-Goo KANG, Jun-Seok KIM, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Influence of Bead Size during Ceria Abrasive Milling Process on High Selectivity and Light Point Defect (LPD) Formation after STI-CMP
MOON Seung-Hyun, LEE Keun-Hoo, KIM Jun-Seok, KANG Hyun-Goo, PAIK Ungyu, PARK Jea-Gun
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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양극산화법에 의한 다공성 SnO2 피막의 기공특성 연구
한혜정, 장현진, 최재호, 민석홍
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Electrochemical preparation of aluminum electrolytic capacitor anode
탁용석, 강진욱
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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노즐 형태의 HCRT MOCVD 반응기에서 유체 흐름이 막 표면 조도 미치는 영향
김경수, 정일현
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착
김경수, 정일현
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Influence of Film Thickness of Electrochromic Tungsten Oxide Film
윤동준, 김도형
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Si 기판에서의 기공형 알루미늄 산화 피막 제조 인자|Fabrication factors of porous aluminum oxide film on Si substrate
허창회, 기범수, 권소현, 정용수, 서수정, 오한준, 지충수
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Al 조성 변화에 따라 원자층 증착법으로 성장된 Hf-Al mixed oxide 박막의 특성|Characteristics of Hafnium-aluminum-oxide Thin Films Deposited by Using Atomic Layer Deposition with Various Aluminum Compositions
김석훈, 최지훈, 강현석, 우상현, 홍형석, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
