화학공학소재연구정보센터
번호 제목
14 HIGH FREQUENCY PERMEABILITY OF SOFT MAGNETIC CoFeHfO FILMS WITH HIGH RESISTIVITY
L.V. Tho, K.E. Lee, S.H. Kim, C.G. Kim, C. O. Kim
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
13 ZnO 나노와이어 소자에서의 HfO2 박막의 화학적 패시베이션 효과|Chemical Surface Passivation of HfO2 Films in the ZnO Nanowire Transistor
문태형, 정민창, 오병윤, 함문호, 명재민
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
12 HfO2/SiOxNy/Si 게이트 구조의 열처리에 따른 열적 안정성과 전기적 특성|Thermal Stability and Electrical Characteristics on Annealing of HfO2/SiOxNy/Si Gate Dielectric Structure
최지훈, 김석훈, 강현석, 우상현, 홍형석, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
11 Al 조성 변화에 따라 원자층 증착법으로 성장된 Hf-Al mixed oxide 박막의 특성|Characteristics of Hafnium-aluminum-oxide Thin Films Deposited by Using Atomic Layer Deposition with Various Aluminum Compositions
김석훈, 최지훈, 강현석, 우상현, 홍형석, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
10 다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구|The Characteristics of HfO2 Thin High-k Gate Oxide Deposited by Direct and Remote Plasma Atomic Layer Deposition Methods.
김인회, 국승우, 김석훈, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
9 원자층 증착법으로 HfO2 박막이 코팅된 ZnS 형광체 분말의 발광 특성 향상|Improvement of Luminescent Properties of ZnS Phosphor Powder Coated HfO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition Method
김형수, 김혁종, 김민완, 김휴석, 김석환, 이상우, 최병호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
8 MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 화학적, 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 최지혁, 명재민
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
7 PEALD 방법으로 증착된 La2O3 게이트 산화물 박막의 전기적 특성|Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
이은주, 김범용, 고명균, 박종완
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
6 Tetrakis-diethylamido hafnium, trimethyl aluminum 그리고 water을 이용한 hafnia-alumina nano laminate 박막의 원자층 화학증착
김석훈, 이시우
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
5 Hf(O-iPr)4를 이용하여 원자층증착한 HfO2 박막의 특성분석
김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회