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유기금속화학증착법에 의한 Boron Nitride의 제조|Preparation of Boron Nitride Thin Films By MOCVD
진용기, 주재백, 이중기, 박달근|Yong-Gi Jin, Jeh-Beck Ju, Joong Kee Lee, Dalkeun Park
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Tripropylsilane의 기상 화학 증착법에 의한 다공성 알루미나를 담지한 SiC 분리막의 제조와 고온에서의 가스 투과 선택도|Preparation of SiC Membrane on Porous Alumina Support Tube by CVD of Tripropylsilane and Its Elevated-Temp. Gas Permselectivity
MOROOKA|MOROOKA
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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촉매 방법으로 성장시킨 미세탄소섬유의 제조와 응용|Preparation and Application of Catalytically Grown Carbon Nanofiber
김도영, 김명수|D.Y. Kim, M.S. Kim
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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ECR플라즈마를 이용한 화학증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 전기적특성|Electrical Characteristics of Silicon Oxide Films Prepared by Chemical Vapor Deposition Method Using ECR Plasma
전법주, 허정수, 오인환*, 임태훈*, 윤용수, 정일현|Bup-Ju Jeon, Jung-Soo Heo, In-Hwan Oh*, TaeHoon Lim*, Yong-Soo Youn, Il-Hyun
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect
김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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화학증착법으로 제조한 실리카 / 알루미나 복합막의 기체분리 특성 연구
이준석, 하흥용, 남석우, 홍성안, 김인원
한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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화학증착법에 의한 다공성 알루미나 지지체 내에서의 실리카막 제조 과정 연구
이희준, 남석우, 하흥용, 홍성안
한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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ECR 플라즈마를 이용한 화학증착법및 건식산화법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성
전법주, 허정수, 오인환, 임태훈, 윤용수, 정일현
한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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화학 증착법에 의한 규소 박막 구조의 내부 조건과 grain 평균 크기의 이론적 전개
김수구, 이홍희
한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
