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Non-saturated Atomic Layer Deposition for Composition Adjustment in Al2O3-HfO2 Thin Films 정회성, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition 김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Fabrication of well-ordered diblock copolymer nanotemplates using surface neutralization by self assembled monolayer and their applications 김수진, 이성균, 맹완주, 박대호, 손병혁, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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SiO2 RF power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 TiO2-SiO2 절연막의 특성(Effects of SiO2 RF power and deposition time in high-k TiO2-SiO2 dielectric layers) 김성연, 함문호, 명재민 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Block Copolymer Micelle 템플릿을 이용한 Metal Nanocrystal Floating Gate Memory 특성 연구 이치영, 권정화, 정석진, 이장식, 손병혁, 이재갑 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Al Atom Migration in LaAlO3 Thin Film during Thermal Treatment 엄다일, 황철성, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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HfO2 게이트 유전막을 이용한 GaN 나노선 FET의 특성(Characteristics of GaN nanowire transistors with hafnium oxide dielectrics) 이재웅, 함문호, 명재민 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Sputter를 이용하여 상온에서 제작된 고유전 Ti1-xSixO2 게이트 절연막 (Room temperature fabricated high-k Ti1-xSixO2 gate dielectrics prepared by sputtering) 김성연, 함문호, 오병윤, 명재민 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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전처리에 따른 HfO2 MOS-Cap의 전기적 특성 평가 양대준, 김주연, 손영준, 김현철, 김영배, 최덕균 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 TiO2:SiO2 박막의 특성(Properties of high-k TiO2:SiO2 films grown by RF magnetron sputter) 김성연, 오병윤, 함문호, 명재민 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |