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Nano imprint Lithography를 이용한 Nano Dot Array제작(Fabrication of Nano Dot Array by NIL)
박정갑, 이병규, 이두현, 정근희, 서수정
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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양극산화 알루미늄 기판을 이용한 Ni imprint stamp의 제작 및 응용
임승규, 정근희, 박인수, 박정갑, 이용호, 서수정
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Nano imprint Lithgoraphy를 이용한 무잔류층 50nm 패턴 형성에 관한 연구
양기연, 변경재, 김종우, 이헌
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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EBL (Electron-Beam Lithorgaphy)을 이용한 Nanoimprinting용 Quartz Master제작
박정갑, 정근희, 나석민, 서수정
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Localized surface plasmon resonance sensing of DNA hybridization on nano-imprint lithography patterns
정진미, 김사라, 양승만, 정희태
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노임프린트 공정에 적합한 솔-젤 플르오르화 하이브리드 재료|Fluorinated organic-inorganic hybrid materials for nano-imprints and soft-lithography
김우수, 최대근, 진정호, 배병수
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노 임프린트 패턴을 이용한 CdS 나노 구조 제작|Fabrication of CdS nano stuructures by using nano imprint patterns
김성진, 김동환
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Au and Ag nano-patterns of various shapes by nano-imprint lithography and their characterization by UV-visible-IR extinction spectroscopy
정진미, 김사라, 양승만, 정희태
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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복제한 PDMS stamp를 이용한 NIL pattern의 특성 연구|PDMS stamp duplication @ NIL pattern morphology research
양기연, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구|Optimization of mask fabrication process for EUV lithography
김우삼, 김충용, 김태근, 이승윤, 안진호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
