화학공학소재연구정보센터
번호 제목
41 Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors
윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
40 초임계 이산화탄소를 이용한 건식 에칭의 공정조건 및 첨가제 배합에 따른 에칭 특성
정재목, 배재현, 임권택
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
39 In-situ Formation of Capping Layer in Cu Chemical Mechanical Polishing
강민철, 김영준, 남호성, 김재정
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
38 ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교
권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
37 Fabrication of well-ordered diblock copolymer nanotemplates using surface neutralization by self assembled monolayer and their applications
김수진, 이성균, 맹완주, 박대호, 손병혁, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
36 다층 구조를 가지는 웨이퍼 막질의 선택적 건식 식각방법
정재목, 배재현, 임권택
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회
35 STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가
김진영, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
34 ALIGNMENT CHARCTERISTICS OF LIQUID CRYSTAL PHOTO-INDUCED BY CINNAMATE BRANCHED POLYMER
이장주, 기희진, 안호진, 이병현, 백상현
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회
33 Isotropic Process of Rod-Coil Molecules in the Random Micelle Regime
이정규, 진왕철, 박명환, 이명수
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회
32 SiNx 박막을 이용한 Si nanodot 형성에 관한 연구
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회