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Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors 윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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초임계 이산화탄소를 이용한 건식 에칭의 공정조건 및 첨가제 배합에 따른 에칭 특성 정재목, 배재현, 임권택 한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
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In-situ Formation of Capping Layer in Cu Chemical Mechanical Polishing 강민철, 김영준, 남호성, 김재정 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교 권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Fabrication of well-ordered diblock copolymer nanotemplates using surface neutralization by self assembled monolayer and their applications 김수진, 이성균, 맹완주, 박대호, 손병혁, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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다층 구조를 가지는 웨이퍼 막질의 선택적 건식 식각방법 정재목, 배재현, 임권택 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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STI, Poly-Si CMP 공정 중의 연마입자 부착력 특성 평가 김진영, 홍의관, 박진구 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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ALIGNMENT CHARCTERISTICS OF LIQUID CRYSTAL PHOTO-INDUCED BY CINNAMATE BRANCHED POLYMER 이장주, 기희진, 안호진, 이병현, 백상현 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
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Isotropic Process of Rod-Coil Molecules in the Random Micelle Regime 이정규, 진왕철, 박명환, 이명수 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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SiNx 박막을 이용한 Si nanodot 형성에 관한 연구 이장우, 박익현, 정지원 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |