| 번호 | 제목 |
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디에틸실란/산소로부터 이산화규소 저압화학증착의 속도론적 연구|A Kinetic Study on LPCVD of SiO2 from Dethylsilane/Oxygen 김철진, 김의정|Chul Jin Kim, Eui Jung Kim 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD 최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
