화학공학소재연구정보센터
번호 제목
28 Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
27 Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
26 Effects of the ion mass and the ion incident angle on etch rates in atomic scale etching
박창한, 이형무, 윤형진, 김태호, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
25 Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
24 Surface morphology on a matrix for barrier-ribs in PDP by etching
성우경, 전재삼, 정유진, 김형순
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
23 A comparative study on deep Si etching using PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 박창한, 김창구
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
22 C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
21 HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
20 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
19 Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회