화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
12	PECVD Chamber 구조가 SiO2 박막 증착의 균일도에 미치는 영향에 관한 연구\|Numerical Studies on Effect of Chamber Geometry on Uniformity of SiO2 Deposited by PECVD 김성재,김헌창,임계규\|Seong Jae Kim,Heon Chang Kim,Key Kyu Lim 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
11	Control of Film Thickness in Nanometer Scale Using a Spin-cast Method 최완식, 김응렬, 이해원, 한신호^* 한국고분자학회 2002년 가을 학술대회
10	RTP 시스템에서 웨이퍼의 온도 균일도 제어\|Control of Wafer Temperature Uniformity in RTP System 안효진,양대륙,이광순\|Hyo-Jin Ahn,Dae-Ryook Yang,Kwang-Soon Lee 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
9	변분법을 이용한 실리콘 단결정 내부의 점결점 제어를 위한 표면 온도 분포 최적화\|Optimization of surface temperature distribution for point defects control in the silicon single crystal by using the variational principle 우화성, 정자훈, 강인석\|Hwa Sung Woo, Ja Hoon Jeong, In Seok Kang 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
8	Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 SiC박막 식각특성\|Etching of SiC Thin Films in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasmas 최창선, 임연호, 박진수, 김태희, 한윤봉\|C. S. Choi, Y. H. Im, J. S. Park, T. H. Kim, Y. B. Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
7	Precision Synthesis and Aggregation Behavior of Novel Silicon-containing Amphiphilic Block Copolymers Hitoshi Yamaoka, Hideki Matsuoka, Kozo Matsumoto 한국고분자학회 2001년 봄 학술대회
6	변분법을 응용한 초크랄스키 공정에서 단결정 표면 온도 분포의 최적화. Part I : 열 응력 문제\|Application of variational calculus to optimization of single crystal surface temperature distribution in the Czochralski process. Part I : Thermal stress problem 정자훈, 강인석\|J.H. Jeong, I.S. Kang 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회
5	화학적 활성을 갖는 메조포러스 물질을 이용한 중금속 흡착\|Chemically Active Mesoporous Materials for Heavy Metal Ion Adsorption 김영훈, 이병환, 조영성, 이종협\|Younghun Kim, ByungHwan Lee, YoungSung Cho, Jongheop Yi 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회
4	반복 학습 제어 기법을 이용한 고속 열처리공정의 온도 균일 제어\|Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique 이진호, 이광순, 최진훈\|Jinho Lee, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3	광섬유반응기와 펄스조사를 활용한 MTBE 분해\|Effect of pulse illumination on photocatalytic degradation of MTBE with a TiO2-coated fiber optic cables reactor 이태규, Michael R. Hoffmann\|Tai Kyu Lee, Michael R. Hoffmann 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회

번호	제목
12	PECVD Chamber 구조가 SiO2 박막 증착의 균일도에 미치는 영향에 관한 연구\|Numerical Studies on Effect of Chamber Geometry on Uniformity of SiO2 Deposited by PECVD 김성재,김헌창,임계규\|Seong Jae Kim,Heon Chang Kim,Key Kyu Lim 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
11	Control of Film Thickness in Nanometer Scale Using a Spin-cast Method 최완식, 김응렬, 이해원, 한신호^* 한국고분자학회 2002년 가을 학술대회
10	RTP 시스템에서 웨이퍼의 온도 균일도 제어\|Control of Wafer Temperature Uniformity in RTP System 안효진,양대륙,이광순\|Hyo-Jin Ahn,Dae-Ryook Yang,Kwang-Soon Lee 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
9	변분법을 이용한 실리콘 단결정 내부의 점결점 제어를 위한 표면 온도 분포 최적화\|Optimization of surface temperature distribution for point defects control in the silicon single crystal by using the variational principle 우화성, 정자훈, 강인석\|Hwa Sung Woo, Ja Hoon Jeong, In Seok Kang 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
8	Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 SiC박막 식각특성\|Etching of SiC Thin Films in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasmas 최창선, 임연호, 박진수, 김태희, 한윤봉\|C. S. Choi, Y. H. Im, J. S. Park, T. H. Kim, Y. B. Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
7	Precision Synthesis and Aggregation Behavior of Novel Silicon-containing Amphiphilic Block Copolymers Hitoshi Yamaoka, Hideki Matsuoka, Kozo Matsumoto 한국고분자학회 2001년 봄 학술대회
6	변분법을 응용한 초크랄스키 공정에서 단결정 표면 온도 분포의 최적화. Part I : 열 응력 문제\|Application of variational calculus to optimization of single crystal surface temperature distribution in the Czochralski process. Part I : Thermal stress problem 정자훈, 강인석\|J.H. Jeong, I.S. Kang 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회
5	화학적 활성을 갖는 메조포러스 물질을 이용한 중금속 흡착\|Chemically Active Mesoporous Materials for Heavy Metal Ion Adsorption 김영훈, 이병환, 조영성, 이종협\|Younghun Kim, ByungHwan Lee, YoungSung Cho, Jongheop Yi 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회
4	반복 학습 제어 기법을 이용한 고속 열처리공정의 온도 균일 제어\|Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique 이진호, 이광순, 최진훈\|Jinho Lee, Kwang Soon Lee, Jinhoon Choi 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3	광섬유반응기와 펄스조사를 활용한 MTBE 분해\|Effect of pulse illumination on photocatalytic degradation of MTBE with a TiO2-coated fiber optic cables reactor 이태규, Michael R. Hoffmann\|Tai Kyu Lee, Michael R. Hoffmann 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회