화학공학소재연구정보센터
번호 제목
91 Self-Limiting Atomic Layer Deposition of Transition Metal Oxides Combined with Oxidation Process
Ho Sun Jun, Tae Hoon Sung, Young Woo Yoon, Min Seok Shim, J.Y. Lee, J. H. Hwang
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
90 Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
89 Electrical properties of Zr-doped TiO2 thin films for DRAM capacitors
권 혁, 박현희, 하정숙
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
88 Solid phase formation and stoichiometry of the plasma-enhanced atomic layer deposited Tantalum carbo-nitride films using TBTDET and hydrogen
송문균, 이시우
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
87 Nucleation Characteristics of Tellurium during Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD)
석경석, 정하나, 임경택, 김도형, 우희권
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
86 원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구
송문균, 이시우
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
85 TiO2/ZnO 코아-쉘 나노섬유의 합성 및 특성
최선우, 이준원, 박성훈, 박재영, 이종무, 김상섭
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
84 고유전 HfO2 게이트 절연막을 이용한 실리콘 나노와이어 FET 소자
문경주, 최지혁, 맹완주, 김형준, 명재민
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
83 Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors
윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
82 원자층 증착법으로 증착시킨 SrO-RuO2 적층구조의 열처리에 의한 perovskite-SrRuO3형성 및 DRAM 캐패시터 전극특성에 관한 연구
안지훈, 김성욱, 오흥룡, 김지혜, 강상원
한국재료학회 2008년 봄 학술대회