화학공학소재연구정보센터
번호 제목
22 Co2(CO)8(Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구|Highly conformal deposition of pure Co films by MOCVD using Co2(CO)8 as a precursor
이정길, 이재갑
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
21 Remote Plasma ALD 법을 사용한 Cobalt 및 Cobalt Silicide 막의 특성에 관한 연구|Study on characteristics of Cobalt and Cobalt-silicide film using metalorganic precursor by Remote Plasma ALD method
김근준, 전형탁, 이근우, 한세진, 정우호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
20 Co/Ni 복합실리사이드의 FIB를 이용한 나노배선 구조의 형상 분석|Characterization of Nano Interconnect Structure in Co/Ni Composite Silicide using on FIB
김상엽, 송오성
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
19 아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화|Property of Composite Titanium Silicide on Amorphous and Crystalline Silicon Sunstrates
김상엽
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
18 Ti 및 Si 분말의 전기방전소결에 의한 Titanium Silicide의 합성 연구|Synthesis of Titanium-Silicide by Electro-Discharge-Sintering of Ti and Si powder
천연욱, 이원희, 오낙현, 김영훈
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
17 Interfacial properties of ultra thin HfxSi1-xO2 films grown by ALCVD using Hf(N(C2H5)2)4 and Si(OC4H9)4 for CMOS application
김재현, 용기중
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
16 Diameter Control of Silicon Nanowires by Au thin film
김근영, 이승현, 남기석
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
15 Solid Phase Epitaxy 방법으로 성장시킨 Mn4Si7 , β-FeSi2 박막의 전, 자기적 특성|Magnetic and Electrical Properties of Mn4Si7, β-FeSi2 Thin Films by Solid Phase Epitaxy
유상수, 서상원, 임영언, 김도진, 김효진, 김창수, 류현, 오상준
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
14 게이트를 상정한 코발트니켈 복합 실리사이드의 물성과 미세구조|Property and Microstructure Evolution of the Cobalt Nickel Composite Silicides for Gate Application
김상엽, 송오성, 정영순
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
13 PECVD법으로 증착된 silicon oxynitride의 물성 분석|Physical analysis of silicon oxynitride deposited by PECVD
조유정, 한길진, 김영철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회