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번호	제목
12	Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing. Yoon-Kweon Choi, Jae-Il Choi, Kyung-Woong PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK 한국재료학회 2006년 봄 학술대회
11	마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조\|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells 전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
10	Submicron-patterning of Si3N4/Si(100) using atomic force microscopy 김창묵, 김영훈, 최인희, 김진수, 이종협 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
9	Strained Si를 만들기 위한 SiGe layer 형성에 temperature, GeH₄gas pre-flow, gas ratio가 미치는 영향\|Effect of temperature, GeH₄ gas pre-flow, gas ratio on formation of SiGe layer for strained Si 안상준, 이곤섭, 박재근 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
8	AlCl₃와 NiCl₂ 화합물 분위기를 이용한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화\|Solid phase crystallization of LPCVD amorphous Si films using AlCl₃ and NiCl₂ atmosphere 엄지혜, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
7	ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성\|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition 한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
6	Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화\|Effect of As dose on Abnormal Growth of Oxide on CoSi2 조일현,성낙균,최경근,이종근,이원규\|Ihl Hyun Cho,Nak Kyun Sung,Kyoung Keon Choi,Jeong-Gun Lee,Won Gyu Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
5	Remote plasma를 이용한 TiO2 박막 증착 및 특성분석\|The characteristics of TiO2 thin film deposited by remote plasma 안경호,송소영,박동화\|Kyoung-ho Ahn,So-young Song,Dong-wha Park 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
4	LPCVD를 이용한 ZrN의 제조\|Preparation of ZrN thin film by LPCVD using tetrakis(dimethylamine)zirconium 김일우, 김도형\|Kim Il-Woo, Do-Heyoung Kim 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3	MOCVD에 의한 RuO2 박막 성장에 관한 연구\|A study on the Growth of RuO2 thin films by MOCVD 안재영, 조성민\|Ahn, jae yung, S. M. Cho 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회

번호	제목
12	Effects of Amorphous-silicon and Poly-silicon films on Within-Wafer Non-Uniformity (WIWNU) Improvement in Chemical Mechanical Polishing. Yoon-Kweon Choi, Jae-Il Choi, Kyung-Woong PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK 한국재료학회 2006년 봄 학술대회
11	마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조\|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells 전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우 한국재료학회 2005년 봄 학술대회
10	Submicron-patterning of Si3N4/Si(100) using atomic force microscopy 김창묵, 김영훈, 최인희, 김진수, 이종협 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
9	Strained Si를 만들기 위한 SiGe layer 형성에 temperature, GeH₄gas pre-flow, gas ratio가 미치는 영향\|Effect of temperature, GeH₄ gas pre-flow, gas ratio on formation of SiGe layer for strained Si 안상준, 이곤섭, 박재근 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
8	AlCl₃와 NiCl₂ 화합물 분위기를 이용한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화\|Solid phase crystallization of LPCVD amorphous Si films using AlCl₃ and NiCl₂ atmosphere 엄지혜, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
7	ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성\|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition 한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균 한국재료학회 2003년 가을 학술대회
6	Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화\|Effect of As dose on Abnormal Growth of Oxide on CoSi2 조일현,성낙균,최경근,이종근,이원규\|Ihl Hyun Cho,Nak Kyun Sung,Kyoung Keon Choi,Jeong-Gun Lee,Won Gyu Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
5	Remote plasma를 이용한 TiO2 박막 증착 및 특성분석\|The characteristics of TiO2 thin film deposited by remote plasma 안경호,송소영,박동화\|Kyoung-ho Ahn,So-young Song,Dong-wha Park 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
4	LPCVD를 이용한 ZrN의 제조\|Preparation of ZrN thin film by LPCVD using tetrakis(dimethylamine)zirconium 김일우, 김도형\|Kim Il-Woo, Do-Heyoung Kim 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3	MOCVD에 의한 RuO2 박막 성장에 관한 연구\|A study on the Growth of RuO2 thin films by MOCVD 안재영, 조성민\|Ahn, jae yung, S. M. Cho 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회