| 551 |
Evaluating Effectiveness of Dust By-product Treatment with Scrubbers to Mitigate Explosion Risk in ZrO2 Atomic Layer Deposition Process
이광호, 정승호, 송두근, 이제찬
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 550 |
Surface modification for deactivation effect using CH4 plasma treatment
김영준, 정찬원, 송석휘, 전형탁
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 549 |
Effect of microwave irradiation on electrical and optical properties of ZnO thin films grown by atomic layer deposition
Hyunwoo Yuk, Hyeongsu Choi, Namgue Lee, Hyunwoo Park, Yeonsik Choi, Junghoon Lee, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 548 |
ALD로 증착한 Al2O3보호막이 적용된 저항형 볼로미터 적외선 센서용 VOx박막 제조
한승익, 배지훈, 신희철, 강현우, 서형탁
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 547 |
2-Dimentional Perovskite Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition for High-k Application
Seung Won Lee, Jeong-Hun Choi, Hyo-Bae Kim, Ji-Hoon Ahn
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 546 |
Tailoring the charge transport at ZnO/Oxide interfaces for high performance of field-effect-transistor
김형진, 유우종
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 545 |
ALD-VOx 박막의 열처리에 따른 패시베이션 특성 분석
박지혜, 장효식
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 544 |
High flexibility of atomic layer deposited Al2O3/In2O3 by forming quasi two-dimension electron gas and nano-crystallization
Hyunwoo Kang, Unjeong Kim, Heecheol Shin, Ranveer Singh, Hyungtak Seo
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Area-Selective Atomic Layer Deposition Assisted by Short-Chain Alkanethiols Self-Assembled Monolayers
Jeongbin Lee, Jinseon Lee, Jeong-Min Lee, Tae Joo Park, Woohee Kim
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics
Jinseon Lee, WooheeKim, Tae Joo Park
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
