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Fluidized bed를 이용한 SoG-Si생산에 관한연구
노창수, 손정민
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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MEDICI와 SUPREM4를 이용한 폴리 실리콘 게이트의 벽면 기울기에 따른 NMOS 소자의 전기적 특성 분석 (A study of Electrical Characteristics of NMOS device with different sidewall angles of poly-silicon gate using MEDICI and SUPREM4)
노호섭, 김진수, 신주용, 송한정, 이제원
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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화합물 반도체 Cu(InGa)Se2박막 태양전지의 제작과 태양광발전 활용
김제하, 정용덕, 배성범, 박래만, 한원석, 조대형, 이진호, 이규석, 김영선, 오수영
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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H2첨가 Plasma arc melting에 의한 Metal Si 정련 기초연구
이우민, 송덕용, 윤정모, 박영구, 장보윤, 윤영수
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Solid phase formation and stoichiometry of the plasma-enhanced atomic layer deposited Tantalum carbo-nitride films using TBTDET and hydrogen
송문균, 이시우
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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폴리실리콘 제조용 실리콘 석출공정
김희영
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구
송문균, 이시우
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성 평가
송문균, 이시우
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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루테늄 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 안정화
윤기정, 송오성, 김종률, 최용윤
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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아몰퍼스실리콘의 결정화에 따른 복합티타늄실리사이드의 물성변화|Property of Composite Titanium Silicide on Amorphous and Crystalline Silicon Sunstrates
김상엽
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
