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Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film.
한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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속이 빈 산화아연 나노섬유의 합성 및 센서 응용
최선우, 정성현, 김상섭
한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Growth Behavior of ZnO on Porous Alumina by Atomic Layer Deposition
안승건, 이후용, 박선희, 안대영, 민요셉
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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AAO 나노구조에 원자층 증착법을 이용한 ZnO/ZnS의 복합막 형성 및 형광 특성
황정연, 박성열, 김종남, 박종호, 범희태, 구상만, 고창현
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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ZnO Nanofilms Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
김진환, 최한석, 한윤봉
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
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리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용
Hyeongtag Jeon, Hyungchul Kim
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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촉매를 이용한 원자층 증착법으로 SiO2 성장 시킨 TiO2 나노분말 표면의 특성
김혁종, 강인구, 김도형, 정도현, 김지영, 최병호
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Formation of TaNx diffusion barrier using plasma enhanced atomic layer deposition
문대용, 한동석, 김경택, 박종완
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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실리콘 나노와이어/다중벽 탄소나노튜브/ZnO 나노복합체를 이용한 염료감응형 태양전지
김준희, 김성원, 이현주, 김동환
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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Al2O3 게이트 절연물질을 사용한 InGaZnO thin film transistors 의 성능향상
우창호, 김영이, 안철현, 조형균
한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
