화학공학소재연구정보센터
번호 제목
22 Technical trend of the Plating and Surface treatment for echo-environment
김유상, 강계명
한국재료학회 2009년 가을 학술대회
21 마이크로 플랫폼과 SnO2 나노와이어를 이용한 메탄 감지용 가스 센서 제조
노봉현, 박준식, 조영창, 조남규, 박순섭, 이인규
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
20 Micropatternig of Porous Silicon Films by Thin Layer of Silicon Nitride
손홍래, 김지훈, 조성동
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회
19 Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors
윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
18 Structural and Morphongical Prorerties of Nitrogen Doped Polysilicon
권혁규, 우상호, 이형무, 김창구, 김일욱, 엄평용, 김해원, 조성길, 최형수, 이동근
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
17 NiCl2 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화
안경민, 이승렬, 안병태
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
16 MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
백정호, 박준식, 이혜진, 이낙규, 강성군
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
15 Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
14 MOCVD법과 RPALD법을 이용한 금속유도결정화법에 관한 연구
김명식, 홍진원, 배규식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
13 Effect of Alkaline Agent in Colloidal-Silica Slurry on Polysilicon Chemical-Mechanical Polishing Process.
Keum-Seok PARK, Myoung-Yoon LEE, Hyung-Soon PARK, Ungyu PAIK, Jea-Gun PARK
한국재료학회 2006년 가을 학술대회