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Photocatalysis Studies of TiO2 Thin Film by Thermal Chemical Vapor Deposition using Tetrakis(dimethylamido)titanium (TDMAT)
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Amorphous silicon hard mask 를 이용한 high selectivity pattern 구현|Fabrication of high selectivity patterns using an a-Si hard mask
조민수, 차남구, 박창화, 임현우, 박진구
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Cu Electrochemical Deposition on Ru seed layer using Electrochemical plating
김형일, 조중희, Dar Mushtaq Ahmad, 김길성, 김영순, 신형식
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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투명전극용 Al-doped ZnO 박막의 수소열처리에 관한 특성연구|Post-annealing of Al-doped ZnO films in hydrogen atmosphere
오병윤, 정민창, 김성연, 이웅, 명재민
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 화학적, 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 최지혁, 명재민
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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A Diagnostic Technique for inspection of pipes in CVD system
윤주영, 문두경, 신용현, 정광화
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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FeRAM 소자에서 Al 배선 특성에 미치는 공정 영향 평가|Effects of Process Conditions on Al Metallization Properties in FeRAM Device
조경원, 권순용, 염승진, 김남경, 최은석, 선호정, 홍태환, 이영근, 최시경
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 함문호, 김명석, 윤일구, 명재민
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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저압에서 Geldart B 입자의 최소유동화속도
박재현, 이승용, 배달희, 한근희
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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콜로이드/계면현상을 이용한 나노복합재료 제조 및 물성향상 연구
노계환, 문일식, 조규진, 박민경, 서임선, 정부기
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
