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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구
변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Improvement of NO2 sensing capability in p-type TeO2 nanowire-based sesnors by formation of discrete n-type ZnO nanoclusters
진창현, 박수영, 나한길, 최선우
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Metal-Oxide Semiconductor via Atomic Layer Deposition System for Thin Film Transistor.
설현주, 정재경, 조민회
한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of Electrocatalysts; PEC catalyst
신현정
한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
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Chemical materials in Atomic Layer Deposition
박인성
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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선택적 영역 원자층 증착법의 표면 반응 메커니즘 및 선택비 향상을 위한 공정 개발
오일권, 김형준
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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2D Transition Metal Chalcogenides Electrocatalysts Prepared by Sequential Gas Phase Deposition
신현정
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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분무열분해된 TiO2 막의 광전기화학 특성평가
구본율, 오동현, 안효진
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Characteristics of Kerfless Si wafer using stress induced metal layer
김경민, 장효식, 차함초롬
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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선택적 영역 원자층 증착법을 이용한 Al2O3 나노 박막 및 반응 메커니즘 연구
오일권, 김형준
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
