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Study on interaction between ceria and various silicon-based wafers for brand-new semiconductor cleaning process 명경규, 변진욱, 임태호, 김재정 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Charge Carrier Transport at Hetero-interface of 2D Materials 이관형 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Inductively Coupled Plasma Assissted Sputtering 방식으로 증착된 텅스텐 박막의 특성에 관한 연구 이수정, 김태형, 송창훈, 변지영, 김주은, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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Very High Frequency Plasma - Enhanced 원자층 증착법을 통한 순수 코발트 박막 특성 연구 송창훈, 염원균, 이수정, 탁현우, 변지영, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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고주파 (162 MHz) 분할전극 플라즈마 소스를 이용한 Silicon nitride (SiNx) 박막의 PEALD 공정에 관한 연구 변지영, 지유진, 김기현, 김기석, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
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2DEG를 이용한 산화물 전자빔 나노 패터닝 제어 이광엽, 문선영, 김진연, 백승협, 김도향, 장호원, 장혜정 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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고순도 TiCl4 제조를 위한 공정부산물 제거 연구 이지은, 임병용, 강유빈, 윤진호, 이찬기 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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띠내 전이 기반의 메탈칼코겐 콜로이드 양자점을 활용한 반도체 트랜지스터 김현진, 최윤창, 정광섭, 김재균 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using low-GWP etchants 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |