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Nucleation Control in Atomic Layer Deposition by using Self-Assembled Monolayers Han-Bo-Ram Lee 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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TiO2 and Al-doped TiO2 films grown by atomic layer deposition for next generation DRAM capacitor 김성근 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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The investigation of plasma pre-treatment for Ru deposition by plasma enhanced atomic layer deposition 김진호, 박진규, 전희영, 김현정, 장우출, 전형탁 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Transferrable Al2O3 Nanosheet using Atomic Layer Deposition 정한얼, 남태욱, 오일권, 이재승, 김형준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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열 전처리에 따른 ALD Al2O3막의 소성 공정 이후 특성 변화 연구 배수현, 김수민, 이경동, 박효민, 김영도, 박성은, 김동환 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Effects of Al2O3/ZrO2 Nanolaminate Deposited by Remote Plasma Atomic Layer Deposition for Moisture Barrier Properties 최용혁, 전형탁, 이상헌, 최학영, 신석윤, 박주현, 정현수, 함기열, 양희왕, 오주홍 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Influence of growth temperature on characteristics of zinc oxide thin film transistors deposited by Atomic Layer Deposition process 조성운, 조형균 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Effect of atomic layer deposited ZnO layers on the electrodeposition and photoelectric properties of Cu2O films 백승기, 권용현, 조형균 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Optical Property of AZO Seed Layer by Aerosol Deposition Method and Hydrothermally Grown ZnO nanowire Min-Geun Choi, Jungkeun Lee, Soohwan Lee, Young-Min Kong, Jungho Ryu, Dae-Yong Jeong 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Effects of Al composition on performance and stability of AZO/ZnO thin film transistors fabricated by Atomic Layer Deposition method 김소희, 조형균 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |