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Characteristics of TiO2 thin film by remote plasma atomic layer deposition using a novel Ti precursor Chunho Kang, Heeyoung Jeon, Woochool Jang, Hyunjung Kim, Hyoseok Song, Honggi Kim, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Electrical Properties of Aluminium Oxide Gate Dielectric Grown by Atomic Layer Deposition at Different Growth Temperture 김예균, 안철현, 윤명구, 조성운, 조형균 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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OLED 수분차단막으로써 사용하기 위한 산화 알루미늄의 원자층 박막 증착 공정법 남태욱, 김형준, 김동현 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition for advanced Cu metallization Soo-Hyun Kim 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Investigation about TaN diffusion barrier properties of Cu gate TFT with Al2O3 and HfO2 gate insulator 김동현, 김형준, 우황제, 남태욱, 정한얼 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Low Temperature Al2O3 Encapsulation for Organic Devices by Remote Plasma Atomic Layer Deposition 오주홍, 최학영, 신석윤, 박주현, 함기열, 최용혁, 전형탁 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Al/SWCNT bilayer 전극을 적용한 TTFT 접촉 저항 특성향상 (Improvement of TTFT contact resistance using the Al / SWCNT bilayer electrode) 이수정, 김윤철, 이태일, 명재민 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy 박재형, 한동석, 강민수, 박종완 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Study on the impact of local doping on the electrical characteristics of ZnO thin films 정윤장, 이영국, 이창완, 강성구, 최원진, 이정오, 공기정 한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |
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Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
한국재료학회 2014년 봄 학술대회 |