화학공학소재연구정보센터
번호 제목
281 Characteristics of TiO2 thin film by remote plasma atomic layer deposition using a novel Ti precursor
Chunho Kang, Heeyoung Jeon, Woochool Jang, Hyunjung Kim, Hyoseok Song, Honggi Kim, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
280 Electrical Properties of Aluminium Oxide Gate Dielectric Grown by Atomic Layer Deposition at Different Growth Temperture
김예균, 안철현, 윤명구, 조성운, 조형균
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
279 OLED 수분차단막으로써 사용하기 위한 산화 알루미늄의 원자층 박막 증착 공정법  
남태욱, 김형준, 김동현
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
278 Atomic layer deposition for advanced Cu metallization
Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
277 Investigation about TaN diffusion barrier properties of Cu gate TFT with Al2O3 and HfO2 gate insulator
김동현, 김형준, 우황제, 남태욱, 정한얼
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
276 Characteristics of Low Temperature Al2O3 Encapsulation for Organic Devices by Remote Plasma Atomic Layer Deposition
오주홍, 최학영, 신석윤, 박주현, 함기열, 최용혁, 전형탁
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
275 Al/SWCNT bilayer 전극을 적용한 TTFT 접촉 저항 특성향상 (Improvement of TTFT contact resistance using the Al / SWCNT bilayer electrode)
이수정, 김윤철, 이태일, 명재민
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
274 Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy
박재형, 한동석, 강민수, 박종완
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
273 Study on the impact of local doping on the electrical characteristics of ZnO thin films
정윤장, 이영국, 이창완, 강성구, 최원진, 이정오, 공기정
한국재료학회 2014년 봄 학술대회
272 Self-forming Ti oxide barrier for nanoscale Cu interconnects created by hybrid atomic layer deposition (ALD) of Cu-Ti alloy

한국재료학회 2014년 봄 학술대회