| 번호 | 제목 |
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Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr)의 Si(100) 표면에서의 열분 해에 대한 표면 화학 연구|Surface Chemistry Study for Thermal Decomposition of Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr) on Si(100) 정준희,임성원,용기중|Joonhee Jeong,Sungwon Lim,Kijung Yong 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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N2 및 O2 플라즈마를 이용한 SiO2 2단계 증착 공정|SiO2 two step deposition using N2 or O2 plasma treatment 이청, 이시우|Chung Yi, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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TEOS/O3을 이용한 게이트 산화막의 저온 화학증착|Low-temperature chemical vapor deposition (CVD) for gate oxide from TEOS/O3 김효욱, 이시우|Hyo-Uk Kim, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
