화학공학소재연구정보센터
번호 제목
10 Thermal Stability of Ruthenium and Iridium Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
김성욱, 권세훈, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
9 Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향
조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
8 Thermal stability of chemical vapor deposited Ru thin films on TiN substrate and SiO2 substrate
김범석, 김형준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
7 직접메탄올 연료전지의 메탄올 크로스오버에 따른 캐소드 비활성화에 관한 연구
문정윤, 정성택, 하흥용
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
6 Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
5 직접메탄올 연료전지 장기운전시 성능저하 요인에 관한 연구
문정윤, 정성택, 하흥용
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
4 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 IrRu 박막의 식각 특성
이장우, 박익현, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
3 직접메탄올 연료전지 장기운전의 비활성화 메카니즘에 관한 연구
박지연, 하흥용, 문정윤, 이태규
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
2 New pretreatment technique for surface improvement of Ru films in Ru-MOCVD
한 희, 김재정
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
1 MOCVD에 의한 RuO2 박막 성장에 관한 연구|A study on the Growth of RuO2 thin films by MOCVD
안재영, 조성민|Ahn, jae yung, S. M. Cho
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회