| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
실리콘 초클랄스키 공정에서 점 결함 밀도에 대한 공정 변수의 영향 연구|Study of the effects of operating parameters on the densities of point defects in silicon single crystal in Czochralski process 김종선, 이태용|Jong-Seon Kim, Tae-Yong Lee 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
실리콘 초클랄스키 공정에서 점 결함 밀도에 대한 공정 변수의 영향 연구|Study of the effects of operating parameters on the densities of point defects in silicon single crystal in Czochralski process 김종선, 이태용|Jong-Seon Kim, Tae-Yong Lee 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |