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Plasma surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas 이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation based on realistic surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in C4F6/Ar/O2 plasmas 장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 천푸름, 이세아, 김진태, 김상곤, 권득철, 송미영, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Polymer Layer based Surface KineticModel on Silicon Dioxide Etch Process in Inductively Coupled Fluorocarbon Plasmas 장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 권득철, 김진태, 김상곤, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
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Kinetic modeling에 의한 조선왕조실록의 열화 예측 강규영, 정명준, 박기훈, 유원재, 이한솔, 조병묵 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
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도시형 폐기물과 바이오매스 혼합물의 열분해 특성 연구 이문원, 홍재준, 박성민, 이은형, 박경민, 김래현 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
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Polymerization Kinetics of L-Lactide in Bulk Process. 윤성철, 김성우, 이인수, 박승영 한국고분자학회 2008년 봄 학술대회 |
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Modeling of batch fermentation kinetics for succinic acid production byMannheimia succiniciproducens 전용재, 송효학, 김지만, 이상엽 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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Batch fermentation kinetics and modeling of Mannheimia succiniciproducens 전용재, 송효학, 이상엽 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |