화학공학소재연구정보센터
번호 제목
15 Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma
조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
14 Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
13 Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
12 Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
민수련, 이장우, 조한나, 정지원
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
11 PLD 법으로 증착된 Doped SrTiO3 박막의 저항변화 연구
정철호, 이재찬, 최택집, Phan Bach Thang, 박지현, 정숙진
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
10 비접촉식 커플러용 자심재료의 내전류 특성 향상연구
전정수, 김춘식, 주현규, 배영화, 전병세, 오영우, 김현식, 김종령
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
9 Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
8 C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
7 고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
6 유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회