번호 | 제목 |
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15 |
Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma 조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
14 |
Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각 민수련, 조한나, 임성근, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
13 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
12 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각 민수련, 이장우, 조한나, 정지원 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
11 |
PLD 법으로 증착된 Doped SrTiO3 박막의 저항변화 연구 정철호, 이재찬, 최택집, Phan Bach Thang, 박지현, 정숙진 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
10 |
비접촉식 커플러용 자심재료의 내전류 특성 향상연구 전정수, 김춘식, 주현규, 배영화, 전병세, 오영우, 김현식, 김종령 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
9 |
Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각 민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
8 |
C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성 조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
7 |
고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각 민수련, 정지원, 이장우, 박익현 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
6 |
유도 결합 플라즈마 반응성 이온식각을 이용한 NbOx nanodot의 식각 메카니즘 연구 박익현, 이장우, 정지원 한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |