화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 다층 구조를 가지는 웨이퍼 막질의 선택적 건식 식각방법
정재목, 배재현, 임권택
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회
3 초임계 이산화탄소를 이용한 효율적인 수용성 웨이퍼 에칭 residue의 제거 방법
김승호, 임권택, 정재목, 이민영
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
2 초임계 이산화탄소를 이용한 반도체 웨이퍼 막질의 선택적 건식 에칭
정재목, 정유선, 박성열, 임권택
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
1 초임계 이산화탄소 내 solid state polymerization를 이용한 나노 크기의 고분자 제조
정유선, 정재목, 김원수, 배경섭, 임권택
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회