번호 | 제목 |
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24 |
무전해도금 섬유소재 전극 적용 에어필터의 미세입자 제거특성 박현설 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
23 |
IPA를 첨가한 세정액 내에서의 acoustic cavitation 거동 연구 김향란, 강봉균, 김민수, 박진구 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
22 |
GaN 기판상의 오염물 제거를 위한 세정공정에 대한 연구 김현태, 김민수, 강봉균, 조윤식, 김현준, 김경준, 박진구 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
21 |
수처리 성능이 향상된 다단 카본블록 제조에 관한 연구 서정환, 박상순, 정원채, 박민정, 우수혜, 김옥희, 신영수, 배근범, 권혁원 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
20 |
실시간 공정 분석 기술을 이용한 글리신 결정화 김준우, 구기갑 한국공업화학회 2012년 봄 학술대회 |
19 |
유기물 제거를 위한 Post Cu CMP 세정 용액 개발 권태영, Y. Nagendra Prasad, R. Prasanna Venkatesh, 박진구 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
18 |
외부전기장 적용 필터의 초미세입자 제거 특성 박현설 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
17 |
Nano size의 CO2 Gas cluster를 이용한 반도체 건식 세정에서 오염입자 제거와 미세 패턴 damage에 관한 연구 김민수, 강봉균, 이승호, 정지현, 윤덕주, 박진구 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
16 |
이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정개발에 대한 연구 김민수, 김혁민, 강봉균, 이승호, 조병준, 정지현, 박진구 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
15 |
메가소닉 주파수의 변화가 나노입자제거에 미치는 영향 김혁민, 강봉균, 이승호, 김정인, 이희명, 박진구 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |