화학공학소재연구정보센터
번호 제목
30 Cu CMP slurry 개발을 위한 첨가제 영향성 연구
김영준, 김재정
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
29 소디움실리케이트로부터 실리카 솔 형성에 관한 반응특성 고찰
김철주, 윤호성, 김성돈, 장희동
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
28 Encapsulation공정에 의한 물유리로부터 구형 나노 실리카의 제조
장문호, 이진수, 엄의흠, 이철태
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
27 New Additive Free High Selective Slurry 기본 연마 특성소개
최용수
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
26 규산수용액으로부터 실리카 솔 제조공정 고찰
김철주, 윤호성, 김성돈, 장희동
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
25 CMP 슬러리 내의 계면 상호작용 측정용 콜로이드 프로브 제조 (I)
김종웅, 최영민, 류병환
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
24 음이온/양성이온 계면활성제의 비율변화를 통한 Structured liquid의 제조 및 평가
지경엽
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
23 연마제 특성에 따른 차세대 금속배선용 Al CMP (chemical mechanical planarization) 슬러리 개발 및 평가
차남구, 강영재, 김인권, 김규채, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
22 Cu ECMP 공정에서 전해질 특성평가 및 첨가제 영향
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
21 전기화학적 연마기의 제작 및 특성평가
권태영, 김인권, 박진구
한국재료학회 2006년 봄 학술대회