| 번호 | 제목 |
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레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향 유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향 유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 22 |
밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조 임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 21 |
수용성 식각 잔여물의 효과적인 건식 세정법 정재목, 임권택, 김승호, 이민영 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
| 20 |
Supercritical CO2 Resist Removal (SCORR) of Pattern Wafers 유기풍 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 19 |
45nm 반도체 세정기술 조중근 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 18 |
Surface change of Si by hydrogen and oxygen plasma 전문규, 박정호, 김준환, 김영채 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 17 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu 의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 이원규 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 16 |
A study on the dry cleaning of patterned wafer using single-phase mixtures with supercritical carbon dioxide 한갑수, 임종성, 유기풍 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 15 |
Newly Synthesized CO2-Soluble Chelating Ligands and Surfactants for the Supercritical CO2 Extraction 김학원 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
