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Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 증착된 Zinc Oxide 박막의 광학적 특성과 전기적 특성
민수련, 정지원, 이장우, 조한나
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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rf 마그네트론 스퍼터링으로 합성한 Zn 나노선과 열산화 처리를 통한 Zn/ZnO 나노케이블의 특성연구|Fabrication of Zn/ZnO nanocables through thermal oxidation of Zn nanowires fabricated by rf magnetron sputtering
김성연, 정민창, 오병윤, 이웅, 명재민
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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RF-magnetron sputtering 법으로 성장한 BaTiO3박막의 Annealing 온도변화에 따른 구조적 특성 평가|Evaluation of Annealing Temperature effects on structural properties of BaTiO3 thin film grown by RF-magnetron sputtering
민기득, 김동진, 이종원, 박인용, 김규진
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Sputtering 조건에 따른 Sn02 박막 가스센서의 전기적 성질에 관한 연구.|The study on electrical properties of SnO2 thin film gas sensor with various sputtering condition
이진혁, 맹기호, 이명호, 최종운, 강계명
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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RF 전력과 산소 유량비에 따른 투명전극용 AZO박막의 특성 비교|Effects of RF power and O2/Ar flow ratio on the properties of AZO thin films for transparent electrodes deposited by RF magnetron sputtering
임근빈, 박민우, 이종무
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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수소 혼합 가스 분위기에서 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 ZnO:Al 박막의 특성|Improvement properties of ZnO:Al by RF magnetron sputtering in H2/Ar atmosphere
이정섭, 허재성, 백상열, 이병훈, 송정빈, 최인훈
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 태양전지용 ZnO:Al 투명전도막 증착시 수소 분위기에서의 texturing 효과|In situ textured ZnO:Al thin films by RF magnetron sputtering in H2 atmosphere for solar cell
백상열, 손창식, 허재성, 이정섭, 이병훈, 최인훈
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Surface Texture 된 ZnO:Al 투명전도막의 제작 및 특성|The fabrication and characteristics of surface textured ZnO:Al films
Sung Ju Tark, Woo Young Kim, Chang-Sik son, In-Hoon Choi, Donghwan Kim
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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알루미늄 도핑에 따른 리튬이차전지용 실리콘 박막의 전기화학적 특성|Electrochemical Properties of Aluminum doped Silicon film as Anode Materials for Li Ion Batteries
김영재, 박종완
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
