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플라즈마 처리에 의한 표면개질이 습식세정 효율에 미치는 영향
백지영, 이명화, 송재동, 김상범, 김경수, 김성현
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정
백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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Supercritical fluid cleaning of metal parts contaminated with metal oxides
엄용석, 장원호, 홍승태, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma
송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
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레이저 충격파 특성에 의한 나노입자 제거효율에 미치는 영향
유영삼, 김태곤, 손일룡, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Surface change of Si by oxygen plasma and thermal heating
전문규, 박정호, 김준환, 김영채
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Synthesis and its application of CO2-soluble amino acid-based surfactants
권윤자, 김학원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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A study on the dry cleaning of patterned wafer using single-phase mixtures with supercritical carbon dioxide
한갑수, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Process Development of Photoresist Removal from Commercial Silicon Wafers Using Supercritical Carbon Dioxide
유기풍, 한갑수, 김선영
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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The Measurement of Cleaning Efficiency by Dry Ice Snow Impact
나영민, 김선근
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
