화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 Fabrication of Transferrable Al2O3 Nanosheet using Atomic Layer Deposition
정한얼, 남태욱, 오일권, 이재승, 김형준
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
6 결정질 실리콘 태양전지의 적용을 위한 Al2O3 박막 특성 분석
김성탁, 강성구, 이경동, 박성은, 김영도, 이해석, 김동환
한국재료학회 2013년 봄 학술대회
5 The effects of Al2O3 passivation with HfO2 as a buffer layer on a-IGZO TFTs
Heewang Yang, Hagyoung Choi, Joohyun Park, Seokyoon Shin, Giyul Ham, Sanghun Lee, Hyeongtag Jeon
한국재료학회 2012년 가을 학술대회
4 원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구
송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
3 High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications
Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
2 THE ROLE OF SURFACE FUNCTIONAL GROUPS OF SiOC:H LOW-K FILMS ON THE NUCLEATION OF ATOMIC-LAYER-DEPOSITED RUTHENIUM
Jaeyeong Heo, Seok-Jun Won, Sanghyun Park, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회
1 Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회