번호 | 제목 |
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7 |
Fabrication of Transferrable Al2O3 Nanosheet using Atomic Layer Deposition 정한얼, 남태욱, 오일권, 이재승, 김형준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
6 |
결정질 실리콘 태양전지의 적용을 위한 Al2O3 박막 특성 분석 김성탁, 강성구, 이경동, 박성은, 김영도, 이해석, 김동환 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
5 |
The effects of Al2O3 passivation with HfO2 as a buffer layer on a-IGZO TFTs Heewang Yang, Hagyoung Choi, Joohyun Park, Seokyoon Shin, Giyul Ham, Sanghun Lee, Hyeongtag Jeon 한국재료학회 2012년 가을 학술대회 |
4 |
원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구 송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
3 |
High Quality Nickel Atomic Layer Deposition for Nanoscale Contact Applications Woo-Hee Kim, Han-Bo-Ram Lee, Kwang Heo, Seunghun Hong, Hyungjun Kim 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
2 |
THE ROLE OF SURFACE FUNCTIONAL GROUPS OF SiOC:H LOW-K FILMS ON THE NUCLEATION OF ATOMIC-LAYER-DEPOSITED RUTHENIUM Jaeyeong Heo, Seok-Jun Won, Sanghyun Park, Cheol Seong Hwang, Hyeong Joon Kim 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
1 |
Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |