번호 | 제목 |
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4H-SiC epilayer growth by hot-wall CVD 서한석, 송호근, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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산탄화규소층의 자기치유에 의한 탄화규소 코팅막의 내산화성 증진(Improvement of Oxidation Resistance of SiC Coating for Carbon/carbon Composite by Self-Healing of SiOC Glass Layer) 전은정, 고병준, 최연호, 윤존도 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
1 |
다중 Wafer에 균일한 SiC피복용 새로운 CVD-Boat Reactor의 개발|Development of a novel CVD-Boat Reactor for uniform SiC Coating on Multiple Wafers 이보성|Bosung Rhee 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |