번호 | 제목 |
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61 |
전자산업공정 폐가스처리를 위한 플라즈마 융합 스크러버 개발 정희숙, 오두영, 송형운 한국공업화학회 2017년 봄 학술대회 |
60 |
PSA 공정을 이용한 CF4 적정농축공정 특성 연구 장현성, 김원식, 조동우, 정태성, 박종기, 박종호 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
59 |
HF 선택성이 우수한 CaO/SiO2 혼합물 제조 연구 조나래, 임민화, 손준연, 노선균, 정호영, 손정선 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
58 |
Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
57 |
감압단계에서 활성탄에 대한 CF4의 탈착 특성 연구 장현성, 김원식, 조동우, 정태성, 박종기, 박종호 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
56 |
바인더를 도입한 HF 제거용 고형환원제 제조 조나래, 임민화, 손준연, 노선균, 정호영, 손정선 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
55 |
PSA (Pressure Swing Adsorption)을 이용한 CF4 적정 농축 임삼목, 조동우, 범희태, 정태성, 박종기, 박종호 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
54 |
저감기술을 활용한 국내 불화가스(F-gas) 저감 잠재량 예측 박찬영, 김영주, 김윤섭, 허고, 문승현 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
53 |
반도체공정 폐가스 처리용 고내구성 연소분해모듈을 위한 니켈기반 초내열합금 코팅 특성평가 박재량, 송형운, 엄성현 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
52 |
반도체 제조시 사용되는 공정가스(불소가스)의 저감효율 측정 방법 연구 동향 이봉재, 이정일 한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |