화학공학소재연구정보센터
번호 제목
61 전자산업공정 폐가스처리를 위한 플라즈마 융합 스크러버 개발
정희숙, 오두영, 송형운
한국공업화학회 2017년 봄 학술대회
60 PSA 공정을 이용한 CF4 적정농축공정 특성 연구
장현성, 김원식, 조동우, 정태성, 박종기, 박종호
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
59 HF 선택성이 우수한 CaO/SiO2 혼합물 제조 연구
조나래, 임민화, 손준연, 노선균, 정호영, 손정선
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
58 Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning
Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
57 감압단계에서 활성탄에 대한 CF4의 탈착 특성 연구
장현성, 김원식, 조동우, 정태성, 박종기, 박종호
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회
56 바인더를 도입한 HF 제거용 고형환원제 제조
조나래, 임민화, 손준연, 노선균, 정호영, 손정선
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
55 PSA (Pressure Swing Adsorption)을 이용한 CF4 적정 농축 
임삼목, 조동우, 범희태, 정태성, 박종기, 박종호
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
54 저감기술을 활용한 국내 불화가스(F-gas) 저감 잠재량 예측
박찬영, 김영주, 김윤섭, 허고, 문승현
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
53 반도체공정 폐가스 처리용 고내구성 연소분해모듈을 위한 니켈기반 초내열합금 코팅 특성평가
박재량, 송형운, 엄성현
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
52 반도체 제조시 사용되는 공정가스(불소가스)의 저감효율 측정 방법 연구 동향
이봉재, 이정일
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회