화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Modified HVPE법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석에 관한 연구|Studies on the Thermodynamic Analysis of the Modified HVPE Process used for GaN Deposition
윤덕선, 이관석, 도창주, 여석기, 박진호|Deoksun Yoon, Kwansuk Lee, Changjoo Do, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
1 Modified Hydride VPE법을 이용한 GaN 증착 공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of the GaN Deposition Processesin a Modified Hydride VPE Reactor
서정찬, 최진식, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회