번호 | 제목 |
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Modified HVPE법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석에 관한 연구|Studies on the Thermodynamic Analysis of the Modified HVPE Process used for GaN Deposition 윤덕선, 이관석, 도창주, 여석기, 박진호|Deoksun Yoon, Kwansuk Lee, Changjoo Do, Seokki Yeo, Chinho Park 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Modified Hydride VPE법을 이용한 GaN 증착 공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of the GaN Deposition Processesin a Modified Hydride VPE Reactor 서정찬, 최진식, 윤덕선, 여석기, 박진호|Jeongchan Seo, Jinsik Choi, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |