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분사형 세정제의 청정도 검사방법
허효정, 김은철, 노경호
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
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저온 플라즈마를 이용한 금속부품의 세정기술에 관한 연구
김경환, 김경석, 임경택, 송선정, 조동련
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
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밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조
임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Cu/CuO/Polyimide 시스템의 접착 및 계면화학반응
이경운, 최철민, 최홍철, 김명한
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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고기능성 칼슘실리케이트의 제조기술 및 응용에 관한 연구
김남훈, 김 현, 장주영, 송지혜, 최성철
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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세정 성능 평가를 위한 실리콘 웨이퍼 표면에서의 입자 오염 방법|Particle Contamination Method on Si Wafer Surface for Evaluation of Cleaning Efficiency
김규채, 권태영, 이승호, 이상호, 박진구
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Growth of GaN using Ga Precursor by Modified Hydride VPE Technique
김진호, 여석기, 박진호
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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준수계세정시스템에서의 한외여과를 이용한 오일함유 헹굼수의 재활용 연구
김현탁, 차안정, 박지나, 배재흠, 주창업, 전성덕, 박병덕
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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기능성 Slurry를 이용한 미래 CMP 공정 기술 개발
이상익, 박형순, 신종한, 김창일, 정종구, 송서영
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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분리막을 이용한 PCB 무전해 도금공정 세척수의 재활용|Recovery of Cleaning Water from PCB Electroless Plating Process Using Membranes
정건용,이원환|Kun Yong Chung,Won Hwan Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
