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Character of copper films on molybdenum substrate by addition of titanium in an advanced metallization process
홍태기, 이재갑, 한두만
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Mo 기판위에서 Ag 첨가에 의한 Cu 박막의 특성조사|Character of copper films by addition of silver on molybdenum substrate in an advanced metallization process
이현민, 이재갑
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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반응성 스퍼터링으로 제조한 Zn0.99Mn0.01O:P 박막의 홀 유도 강자성 특성|Hole-induced ferromagnetism in Zn0.99Mn0.01O:P thin film grown by reactive sputtering
심재호, 김현중, 김효진, 홍순구, 김도진, 임영언, 주웅길
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가|Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering
김경원, 이태권, 김호정, 이순영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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반응성 스퍼터링으로 제조한 Cr-doped ZnO 박막의 성장과 전·자기적 특성 연구|Growth and Electric · magnetic properties of Cr-doped ZnO thin films by reactive sputtering
심재호, 김현중, 김효진, 김도진, 임영언, 주웅길
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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FBAR 소자제작을 위한 전극막에 따른 ZnO 방향성 연구
최승혁, 김종성
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Plasma source와 RF power에 따른 NiO 박막의 우선배향성 및 표면형상|The Evolution of Preferred Orientation and Morphology of NiO Thin Films under Variation of Plasma Source and RF Power
Hyunwook Ryu, Jinseong Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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FBAR 소자용 Si Membrane 구조제작 및 ZnO 압전 박막 증착|The fabrication of membrane structure for FBAR and the deposition of ZnO piezoelectric thin film
임석진,김종성|Seok-Jin Lim,Jong Sung Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
