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C2F6/Ar 가스를 이용한 TiO2 박막의 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각 조한나, 민수련, 리유에롱, 정지원 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각 민수련, 조한나, 임성근, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각 조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각 민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성 조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각 민수련, 정지원, 이장우, 박익현 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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TCP-PECVD를 이용한 n-type 마이크로결정질 실리콘 박막형성에 공정조건이 미치는 영향|The Effect of Process Conditions for Formation of n-type Microcrystalline Silicon Thin Films by TCP-PECVD 이형철, 이유진, 신진국, 염근영 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구|A study on the etching characteristics of Er doped optical waveguide films using Inductively Coupled Plasma Etching 송명곤, Jiehe Sui, 신동욱 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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비정질/마이크로결정질 실리콘 박막 태양전지의 제작 및 특성평가|Fabrication and Characterization of Amorphous/Microcrystalline Silicon Thin Film Solar Cells 이형철, 이유진, 신진국, 염근영 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |