화학공학소재연구정보센터
번호 제목
26 C2F6/Ar 가스를 이용한 TiO2 박막의 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각
조한나, 민수련, 리유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회
25 Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
24 Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
23 Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
22 C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
조한나, 민수련, 리 유에롱, 정지원
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
21 고밀도 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 반응성 이온 식각
민수련, 정지원, 이장우, 박익현
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
20 TCP-PECVD를 이용한 n-type 마이크로결정질 실리콘 박막형성에 공정조건이 미치는 영향|The Effect of Process Conditions for Formation of n-type Microcrystalline Silicon Thin Films by TCP-PECVD
이형철, 이유진, 신진국, 염근영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
19 유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구|A study on the etching characteristics of Er doped optical waveguide films using Inductively Coupled Plasma Etching
송명곤, Jiehe Sui, 신동욱
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
18 비정질/마이크로결정질 실리콘 박막 태양전지의 제작 및 특성평가|Fabrication and Characterization of Amorphous/Microcrystalline Silicon Thin Film Solar Cells
이형철, 이유진, 신진국, 염근영
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
17 고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry
함동은, 신수범, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회