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3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole
육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 225 |
Phase Shift Mask의 표면개질에 의한 Critical Dimension 변화억제
추혁성, 임상우
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Lithography 공정에서 사용되는 Blank Mask 제작을 위한 Quartz 기판 연마용 Ceria 입자분산평가
서영길, 김혁민, Xiong Hailin, 문덕주, 박진구
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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Metal Mesh Pattern으로 구성된 Touch Panel Sensor의 흑화처리 및 투과율 개선
양대근, 곽민기, 곽승훈, 서대식
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
| 222 |
고분자 스탠실을 이용한 소프트 리소그래피에 기반한 3차원 기판 위 유기트랜지스터 제작
Liang Yuchen, 서순민, 엽호
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Fabrication of nanoarchitectures with anisotropic geometries and properties using controllable holographic lithography
전환철, 전태윤, 양승만
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Fabrication of 3D Periodic Nanostructures by Using Reusable Colloidal Phase Masks
전태윤, 전환철, 이수연, 박성규, 심태섭, 양승만
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 219 |
SC-1 세정 시 표면처리에 따른 Phase Shift Mask의 Critical Dimension 변화
추혁성, 임상우
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 218 |
Reverse soft Lithography를 이용한 Line pattern 제조연구
이운학, 김용우, 송주연, 장상목, 김종민
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
