번호 | 제목 |
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CVD법을 통하여 Si 기판에 Y계 초전도 박막의 제조|Preparation of Y-System Superconducting Thin Films on Si substrate by Chemical Vapor Deposition 양석우, 김영순, 이영민, 박정식, 조익준, 신형식|Suk-Woo Yang, Young-Soon Kim, Young-Min Lee, Jeong-Shik Park, Ik-Joon Cho 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
2 |
플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect 김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
1 |
Si (Ⅲ) 기판 위에 3C - SiC (Ⅲ) 박막의 성장기구 남기석, 서영훈 한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |