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산업용 잉크젯을 이용한 전자소자 제작
강희석, 강경태, 황준영, 이상호
한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각
김찬규, 민경석, 염근영
한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Top surface imaging process by selective chemisorption of diphenyl siloxane derivatives.
김현희, 우승아, 김진백
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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High Resolution Bilayer Resists Using Blends of Photoactive and Silicon-ContainingPolymers
우승아, 김진백
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Template-Assisted Fabrication of Highly Ordered Freestanding Titanium Oxide Nanotube Arrays via Si-Containing Block Copolymer Lithography and Atomic Layer Deposition.
조경천, 김진백, 박창홍, 구세진, 권세훈
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Non-Photoresist Lithographic Materials: From Assisting to Enabling New Processes
Ralph R. Dammel
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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High Resolution Bilayer Resists Using Blends of Photoresists and Silicon-Containing Materials
우승아, 김진백
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Block Copolymer Patterning by UVO Etching for large-area Nanolithography
정예슬, 김아라, 김태성, 김소연, 김홍승, 박건식, 김동표, 김주연, 김진식, 백규하, 도이미
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Engineering of catalytic and semiconductor surfaces
문상흡
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes
육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
