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RF-magnetron sputtering을 이용한 YSZ박막제조와 고체전해질형 가스센서로의 응용|Synthesis of YSZ Thin Films by RF-magnetron sputtering and Its Application for Gas Sensor
김기동, 박준용, 조영아, 전진석, 배정훈, 최동수, 염근영|K.D.Kim, D.G.Shin, Y.A.Cho, J.Y.Park, J.S.Jeon, J.H.Bae, D.Choi, G.Y.Yeom
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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공중합 폴리이미드의 응력 거동 해석|The analysis of residual stress behavior in copolyimide
장원봉, 정현수, 조영일, 한학수|Wonbong Jang, Hyunsoo Chung, Yungil Joe, , Haksoo Han
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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박막형 안정화 지르코니아의 제조와 가스센서에의 적용연구|Synthesis of Yttria-Stabilized Zirconia Thin Films and Its Application for Gas Sensor
김기동, 신동근, 조영아, 박준용, 전진석, 최동수, 염근영|K.D.Kim, D.G.Shin, Y.A.Cho, J.Y.Park, J.S.Jeon, D.Choi, G.Y.Yeom
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사|Modeling and Simulation for Wafer Temperature Uniformity in RTP System
박형진, 이정석, 박선원|Hyungjin Park, Jeongseok Lee, Sunwon Park
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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CVD에 의한 YSZ 박막의 제조|Preparation of YSZ Thin Films by CVD
김기동, 전진석, 최동수|K.D.KIM, J.S.Jeon, D.Choi
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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CVD법을 통하여 Si 기판에 Y계 초전도 박막의 제조|Preparation of Y-System Superconducting Thin Films on Si substrate by Chemical Vapor Deposition
양석우, 김영순, 이영민, 박정식, 조익준, 신형식|Suk-Woo Yang, Young-Soon Kim, Young-Min Lee, Jeong-Shik Park, Ik-Joon Cho
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
