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Atomic scale etching of poly-Si in inductively coupled Ar and He plasmas 김태호, 민재호, 문상흡, 윤형진, 신치범, 김창구 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Amorphous silicon hard mask 를 이용한 high selectivity pattern 구현|Fabrication of high selectivity patterns using an a-Si hard mask 조민수, 차남구, 박창화, 임현우, 박진구 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 마이크로 인장시편의 제조|Fabrication of Micro Tensile Test Specimens of Single Crystal Silicon Using MEMS Processes 전창성, 박준식, 이상렬, 이낙규, 이혜진, 윤대원, 강성군 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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마이크로 부품 및 바이오 셀 그리핑을 위한 압전 out-of-plane 방식의 마이크로 그리퍼 설계 및 제조|Design and fabrication of out-of-plane type piezoelectric micro grippers for gripping micro parts and bio-cells 전창성, 박준식, 이상렬, 문찬우 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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C2F6 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 산화아연(ZnO) 식각에 관한 연구|Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas. 이건교, 이병택 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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CeO2 완충층을 이용한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 정지 특성|Etch Stop Characteristics of SrBi2Ta2O9 Thin Film by Using CeO2 Buffer Layer 권영석, 심선일, 김용태, 최인훈 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Fabrication of magnetic metal dot pattern using CL 김사라, 양승만 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Nanoscopic Templates by Block Copolymer and Supramolecular Self-Assemblies 권기영, 최대근, 양승만, 정희태 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각 송영수, 신 별, 정지원 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry 함동은, 신수범, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |