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이차원 콜로이드 결정과 자기조립 단 분자 막을 이용한 주기적 표면 나노 구조체 제작|Fabrication of Periodic Array Nanostructures by Two-Dimensional Colloidal Crystals and Self-Assembled Monolayers
배창득, 신현정, 문주호, 성명모
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition
천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Preparation of HfN Thin Film by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using tetrakis(dimethylamino)hafnium
김은정, 김도형
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of HfO2 Using Hf(O-iPr)4 and O2
김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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템플레이트에서 원자층 증착기술을 이용한 금속산화물 나노튜브의 제작방법|The novel Fabrication method of the metal oxide nanotube on template using atomic layer deposition
정대균, 박노헌, 성명모, 이재갑, 신현정, 김지영
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적·전기적 특성|Physical and Electrical Characteristics of Silicon Dielectric Thin Films by Atomic layer Deposition
한창희, 이주현, 김운중, 이원준, 나사균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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원자층 증착 공정에 관련한 Si(100)위에서 알코올의 표면화학연구|surface chemistry of alcohols on Si(100) for ALD process
김재현, 김관수, 용기중|Jaehyun Kim, Kwansoo Kim, Kijung Yong
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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원자층 나노박막 증착을 위한 표면화학 연구|Surface chemistry study for atomic layer chemical vapor deposition
용기중|Kijung Yong
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
